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废气来源有
生产车间、设备、实验室、活性气混合装置、气瓶中的残留等；所谓的废气处理，是指将这些地方产生的废气进行处理，从而不侵害到环境和动植物的健康。
废气处理的基本准则
首先将废气处理成安全状态，即成为无毒、不燃后再进行处理。废气处理应该把灾害降低到最小，尽量减少或避免对环境的危害；特别是大中型企业因需要使用到大量气体，随之产生大量废气，故应建立废气处理装置和处理系统，为人类的健康和环境的安全做出一份努力。
砷烷、磷烷、硼烷和硅烷等，有毒、易燃，氢气具有强的燃烧爆炸性，氯气、氯化氢和氟化氢#氟化氢#具有强腐蚀性等；对于上述这些气体不仅要注意防止环境污染，而且还要注意排放周边的安全性。
废气处理步骤
混入惰性气体氮气，使残余气体性状成惰性，可以避免引起燃爆；经过此步骤，活性气体含量必须限于0.1%，氢气含量低于1%。进入空气/丙烷或者空气/甲烷燃烧器中烧掉混合后的气体。对烟雾进行过滤除尘对于无危险性的气体，可选择适当地方，直接排放到大气中。
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